單硅晶體超純水設備主要作用是用于清除表面污染雜質，包括有機物和無機物，這些雜質有的是以原子狀態(tài)、離子狀態(tài)、薄膜形式、顆粒形式存在與硅片的表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬鉻、銅、鐵、金等，嚴重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導;堿金屬如鈉等，引起嚴重漏電;顆粒污染源則包括有機膠體纖維、微生物、細菌、塵埃、硅渣等物質，這類物質都會在生產(chǎn)過程中造成不同程度的危害，所以現(xiàn)在的半導體器件生產(chǎn)、太陽能電池硅片、多晶硅、單晶硅的生產(chǎn)過程中都需要使用超純水進行沖洗，保證整體過程受到的危害降到最小。
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科大環(huán)保超純水系統(tǒng)采用目前世上最先進的工藝流程制取電路板用超純水設備；采用進口品牌的RO膜和edi模塊；預處理系統(tǒng)定制的是特制精密砂；椰殼活性炭；可以有效的保護反滲透RO膜，從而大大提高設備的運行壽命；
工藝流程：
原水箱→原水提升泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級高壓泵→一級反滲透→級間水箱→二級高壓泵→中間水箱→EDI提升泵→微孔過濾器→EDI系統(tǒng)→EDI水箱→拋光混床→用水點（≥18.2MΩ.CM）
設備性能：
1.預處理系統(tǒng)是采用目前技術的裝置，它的凈水效果顯著。可以去除水中的的細菌、泥沙、膠體、懸浮物、異味等雜質。如果水中的硬度較高時，則還會降低水中的硬度。
2.反滲透技術主要由高壓泵、膜克、還有進口反滲透膜的組件、儀表、控制電氣等組成。使其水中的電導率下降，電阻率提升。
3.后處理部分是對反滲透制取的純水做更進一步的深化處理。使其出水的電阻率可以到18.2兆歐，從而使生產(chǎn)出來的水達到最佳的晶片清洗標準。
4.超純水設備的脫鹽核心部件為進口的反滲透膜組件，超純水設備一般都是有預處理裝置、反滲透技術、后處理由拋光混床、EDI系統(tǒng)部分共同組成，使其凈水的效果顯著。
經(jīng)過這幾部分處理之后的水能夠滿足于單晶硅清洗用超純水用水要求，部分生產(chǎn)企業(yè)要求水中不能含有微生物、真菌等，所以會在后面加裝紫外燈殺菌裝置來確保水質達到生產(chǎn)所需。
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